法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-04-03
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/15 申请日:20171025
实质审查的生效
2018-03-09
公开
公开
机译: 与吸收光谱仪一起使用的多路径光学测量池,用于检测气体样品中的极少量气态杂质,具有一种将光学头红外参考光束耦合到该池的改进方法
机译: 气体例如氩气,一种用于硅晶片加工/转移设备的真空室的泄漏检测方法,涉及产生气体等离子体并检测在等离子体发射的辐射光谱中测试气体的光谱线的存在
机译: 一种光学装置,包括:气隙基准位置调整结构的气隙基准位置调整结构;以及气隙可变光谱透射率可变元件的气隙可变光谱透射率可变元件。