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一种基于压电厚膜MEMS工艺的微能量采集器及其制备方法

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本发明涉及微能量采集技术领域，且公开了一种基于压电厚膜MEMS工艺的微能量采集器及其制备方法，所述微能量采集器包括上电极、下电极、硅固定基座、压电悬臂梁、质量块；所述压电悬臂梁的一端固定连接在所述硅固定基座的内侧壁上，并向与所述内侧壁相对的另一侧内侧壁延伸；所述压电悬臂梁的另一端固定连接悬空的所述质量块；所述上电极和所述下电极形成于硅固定基座上，且所述压电悬梁臂且所述上电极覆盖在所述压电悬梁臂上。本基于压电厚膜MEMS工艺的微能量采集器及其制备方法具备可以使压电厚膜的压电性能大大提升，也可以制备出压电厚膜，而且可制备器件结构更加的多样化和复杂化更高等优点。

著录项

公开/公告号CN107808926A

专利类型发明专利
公开/公告日2018-03-16

原文格式PDF
申请/专利权人苏州大学;
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申请/专利号CN201711100012.1
发明设计人刘会聪;杨湛;陈涛;孙立宁;
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申请日2017-11-09
分类号H01L41/113(20060101);H01L41/25(20130101);H01L41/312(20130101);H02N2/18(20060101);
代理机构33273 宁波高新区核心力专利代理事务所(普通合伙);
代理人袁丽花
地址 215000 江苏省苏州市相城区济学路8号
入库时间 2023-06-19 04:48:23

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-06-12

授权

授权
2018-04-10

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L41/113 申请日:20171109

实质审查的生效
2018-03-16

公开

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