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基板表面缺陷检测装置、图像畸变校正方法和装置以及基板表面缺陷检测设备

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本发明公开了一种基板表面缺陷检测装置和设备、图像畸变校正方法和装置，涉及半导体技术领域。其中，所述基板表面缺陷检测装置包括：光波导，用于接收光并引导光至所述基板的待检测表面，所述光波导具有与所述基板相邻的第一表面和与第一表面相对的第二表面；至少一个微透镜阵列，层叠地设置在所述光波导的与所述基板相对的一侧，每一个微透镜阵列都包括以阵列形式布置的多个微透镜，用于接收并会聚来自于所述待检测表面的经过所述光波导的光；成像部件，用于接收来自于所述微透镜的光以进行成像。本发明利用微透镜阵列来检测基板表面缺陷可以提高缺陷的检测速度。

著录项

公开/公告号CN107845583A

专利类型发明专利
公开/公告日2018-03-27

原文格式PDF
申请/专利权人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;
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申请/专利号CN201610826112.1
发明设计人伍强;熊威;李璇;
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申请日2016-09-18
分类号H01L21/66(20060101);
代理机构11038 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人刘倜
地址 201203 上海市浦东新区张江路18号
入库时间 2023-06-19 04:51:06

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-04-20

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20160918

实质审查的生效
2018-03-27

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