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基于影响矩阵瑞奇‑康芒检验的局部采样面形恢复方法

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本发明公开了一种基于影响矩阵瑞奇‑康芒检验的局部采样面形恢复方法，首先用干涉仪按照影响矩阵瑞奇‑康芒检验的原理，在不同瑞奇角下得到两幅椭圆形压缩图样。按像素点为单位，对两幅椭圆图样中的对应点，根据其对应被检平面镜相应点实际入射角大小建立两组影响矩阵方程，而不近似使用瑞奇角。将两组影响矩阵方程组合，用最小二乘法求解得到该点Zernike系数，从而恢复该点面形数据。将该过程遍历整个被检平面镜，对被检平面镜的每个点执行上述处理，然后将各点面形数据结果综合，得到被检平面镜恢复后的面形。

著录项

公开/公告号CN107941165A

专利类型发明专利
公开/公告日2018-04-20

原文格式PDF
申请/专利权人中科院南京天文仪器有限公司;
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申请/专利号CN201711096670.8
发明设计人李金鹏;林冬冬;胡明勇;郑锋华;朱庆生;毕勇;李季;
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申请日2017-11-08
分类号G01B11/24(20060101);G01B9/02(20060101);
代理机构32207 南京知识律师事务所;
代理人朱少华
地址 210042 江苏省南京市玄武区花园路6-10号
入库时间 2023-06-19 05:07:54

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-06-19

发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01B11/24 申请公布日:20180420 申请日:20171108

发明专利申请公布后的驳回
2018-05-15

实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/24 申请日:20171108

实质审查的生效
2018-04-20

公开

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