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用于借助高频激励脉冲产生等离子脉冲或激光脉冲的方法和设备、尤其气体放电激光器、以及用于高频激励脉冲发生器的控制单元

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本发明涉及一种用于借助高频激励脉冲(13)产生等离子脉冲或激光脉冲(14)的方法，其中，为了满足等离子脉冲或激光脉冲预给定值(11)以高频激励脉冲(13)激励介质。所述高频激励脉冲(13)至少部分地与所述介质的先前高频激励相关地确定。至少部分地如此实现所述高频激励脉冲(13)的确定，使得所述介质通过先前高频激励的剩余激励越高，所述高频激励脉冲(13)尤其在所述高频激励脉冲的开始时刻和/或结束时刻改变的情况下缩短得越强烈。此外，本发明涉及一种用于高频激励脉冲发生器的控制单元、一种高频激励脉冲发生器和一种用于借助高频激励脉冲(13)产生等离子脉冲或激光脉冲(14)的设备、尤其气体放电激光器。

著录项

公开/公告号CN108141949A

专利类型发明专利
公开/公告日2018-06-08

原文格式PDF
申请/专利权人通快激光与系统工程有限公司;
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申请/专利号CN201580083821.9
发明设计人 R·舒尔茨;T·贝克;
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申请日2015-10-12
分类号
代理机构永新专利商标代理有限公司;
代理人郭毅
地址德国迪琴根
入库时间 2023-06-19 05:36:53

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-11-12

授权

授权
2018-07-03

实质审查的生效 IPC(主分类):H05H1/46 申请日:20151012

实质审查的生效
2018-06-08

公开

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