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一种准垂直结构p-金刚石/i-SiC/n-金刚石LED及其制作方法

摘要

本发明公开了一种准垂直结构p‑金刚石/i‑SiC/n‑金刚石LED及其制作方法,其中,一种准垂直结构p‑金刚石/i‑SiC/n‑金刚石LED,包括依次层叠设置的单晶金刚石衬底和p型硼高掺杂金刚石层,p型硼高掺杂金刚石层上方依次设置有i型碳化硅层、n型磷高掺杂金刚石层、欧姆接触电极和保护金属层,p型硼高掺杂金刚石层上方还依次设置有欧姆接触电极和保护金属层,解决了金刚石LED发光效率问题。

著录项

  • 公开/公告号CN108321271A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-07-24

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 西安交通大学;

    申请/专利号CN201810182721.7

  • 申请日2018-03-06

  • 分类号H01L33/34(20100101);H01L33/64(20100101);H01L33/00(20100101);

  • 代理机构61219 陕西增瑞律师事务所;

  • 代理人刘春

  • 地址 710049 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号

  • 入库时间 2023-06-19 06:30:04

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-08-17

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L33/34 申请日:20180306

    实质审查的生效

  • 2018-07-24

    公开

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