法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-08-24
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/50 申请日:20151207
实质审查的生效
2018-07-31
公开
公开
机译: 用于在真空处理腔室中进行基板处理时保持基板的保持布置,用于在真空处理腔室中支撑基板的载体以及用于保持基板的方法
机译: 用于在真空处理腔室中进行基板处理时保持基板的保持布置,用于在真空处理腔室中支撑基板的载体以及用于保持基板的方法
机译: 用于在真空处理腔室中处理基板的过程中保持基板的保持装置,用于在真空处理腔室中支撑基板的载体以及该基板的保持方法