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具有对有效区的减小的机械夹紧以用于增强的剪切模式响应的声谐振器

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本公开提供一种具有对有效区的减小的机械夹紧以用于增强的剪切模式响应的声谐振器。更具体地，本公开提供一种固态装配型BAW谐振器器件，其具有被带有减小的压电材料厚度的无效区横向包围的压电材料的有效区，使得至少沿着有效区的边界的无效区的上部部分没有压电材料。谐振器器件提供沿着有效区的压电材料的相对横向边缘的不连续性以减小在剪切模式操作中的最大横向位移的方向上对有效区的机械夹紧。增加压电材料的有效区的机械隔离降低对有效区的横向振动的机械阻尼，这增强对于准剪切模式感测的剪切模式响应。

著录项

公开/公告号CN108474765A

专利类型发明专利
公开/公告日2018-08-31

原文格式PDF
申请/专利权人 QORVO美国公司;
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申请/专利号CN201680079594.7
发明设计人 J.贝尔西克;R.莫顿;
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申请日2016-11-21
分类号
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人王岳
地址美国北卡罗来纳州
入库时间 2023-06-19 06:20:12

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-12-04

实质审查的生效 IPC(主分类):G01N29/02 申请日:20161121

实质审查的生效
2018-08-31

公开

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