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基于垂直型热电偶和纳米PN结的热电光电集成微型发电机

摘要

本发明的基于垂直型热电偶和纳米PN结的热电光电集成微型发电机,衬底为N型硅片,光电池的受光面上制作有绒面结构、第二氮化硅薄膜和背电场结构,N型纳米注入区和P型纳米注入区交错排列,纳米注入区上淀积了一层二氧化硅层钝化层,并于特定的区域开了一系列的电极接触孔;热电式发电机与光电池之间隔有第一氮化硅薄膜,热电式发电机的主要功能单元为热电堆,热电堆下电极位于光电池电极上方,垂直衬底表面的N型多晶硅纳米线簇和P型多晶硅纳米线簇构成了热电偶的半导体臂,通过热电堆下电极和热电堆上电极串联成热电堆,金属板位于热电堆的正上方,与热电堆上电极之间隔有一层氮化硅薄膜。

著录项

  • 公开/公告号CN108540051A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-09-14

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 东南大学;

    申请/专利号CN201810208105.4

  • 发明设计人 廖小平;严嘉彬;

    申请日2018-03-14

  • 分类号

  • 代理机构南京苏高专利商标事务所(普通合伙);

  • 代理人柏尚春

  • 地址 211189 江苏省南京市江宁区东南大学路2号

  • 入库时间 2023-06-19 06:29:52

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-06-28

    发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):H02S10/30 申请公布日:20180914 申请日:20180314

    发明专利申请公布后的撤回

  • 2018-10-16

    实质审查的生效 IPC(主分类):H02S10/30 申请日:20180314

    实质审查的生效

  • 2018-09-14

    公开

    公开

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