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一种ZnS包覆ZnO纳米核壳结构复合薄膜的制备方法

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本发明公开一种ZnS包覆ZnO纳米核壳结构复合薄膜的制备方法，包括以下步骤：清洗衬底，去除衬底表面的油污和杂质；采用磁控溅射设备，以ZnS靶与ZnO靶为溅射靶材，ZnS靶与ZnO靶的靶座均与水平面呈45º夹角，使ZnS靶与ZnO靶的延长线相交于一点，衬底置于ZnS靶与ZnO靶的相交点上；S3、通入工作气体氩气，首先使ZnS靶溅射功率45W、ZnO靶溅射功率150W，进行共溅射25min；然后ZnS靶溅射功率增大至100W、ZnO靶溅射功率减小至80W进行共溅射3min；最后关闭ZnO靶、ZnS靶溅射功率增大至150W，溅射2min，得到ZnS包覆ZnO纳米核壳结构复合薄膜；ZnS禁带宽度与ZnO非常接近，两者之间不会由于晶格常数相差太多造成薄膜应力过大的问题，最终形成一个二元的复合体系。

著录项

公开/公告号CN108754442A

专利类型发明专利
公开/公告日2018-11-06

原文格式PDF
申请/专利权人中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司;
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申请/专利号CN201810560530.X
发明设计人彭寿;沈洪雪;姚婷婷;杨勇;李刚;
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申请日2018-06-04
分类号
代理机构安徽省蚌埠博源专利商标事务所;
代理人陈俊
地址 233010 安徽省蚌埠市禹会区涂山路1047号
入库时间 2023-06-19 07:01:55

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-04-03

发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):C23C14/35 申请公布日:20181106 申请日:20180604

发明专利申请公布后的撤回
2018-11-30

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/35 申请日:20180604

实质审查的生效
2018-11-06

公开

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1. 一种ZnS包覆ZnO纳米核壳结构复合薄膜的制备方法 [P] . 中国专利： CN108754442A . 2018-11-06
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