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热式质量流量传感器、该热式质量流量传感器的制造方法以及使用该热式质量流量传感器的热式质量流量计

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在以抑制与高温下的使用相伴随的、传感器线(13a)和传感器线(13b)的包覆层的消失为目的而被封入处于非活性气氛的密闭容器(11)中的热式质量流量传感器(10)中，还具有排气管(16)，该排气管(16)是经由形成于密闭容器(11)的外壁的贯通孔即排气孔(16a)使密闭容器(11)的内部空间与外部气密地连通的管。排气管(16)的与排气孔(16a)相反的一侧的端部通过塑性变形被密封而形成密封部(16b)。由此，能够在通常的大气气氛下形成密闭容器(11)之后，将密闭容器(11)的内部空间气密地封闭。上述密封部(16b)也可以利用焊接进一步密封。这样能够容易且高精度地组装密闭容器(11)，且能够抑制与高温下的使用相伴随的、密闭容器(11)的气密性的下降。

著录项

公开/公告号CN108779996A

专利类型发明专利
公开/公告日2018-11-09

原文格式PDF
申请/专利权人日立金属株式会社;
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申请/专利号CN201780016648.X
发明设计人佐佐木龙;石井守;
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申请日2017-02-17
分类号G01F1/684(20060101);G01F1/69(20060101);
代理机构11277 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人刘新宇;张会华
地址日本东京都
入库时间 2023-06-19 07:08:01

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-03-15

实质审查的生效 IPC(主分类):G01F1/684 申请日:20170217

实质审查的生效
2018-11-09

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