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可自动清洗介质阻挡放电管的低温等离子体废气处理部件

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可自动清洗介质阻挡放电管的低温等离子体废气处理部件属于工业废气处理设备制造领域，尤其涉及自动化清洗电极并清除残留废气的废气处理器制造领域，其特征在于，同轴套接有金属棒电极的空心绝缘介质套轴向外表面上螺旋缠绕着金属丝的介质阻挡放电管水平地等间距排列组成了的介质阻挡放电单元，采用了由各金属棒电极顶端互连，各金属丝起点互连而拼成的单介质阻挡放电用的并联电路来实现自动清洗电极清除废气；采用了把各金属棒电极的底端依次交替互连而成的双介质阻挡放电用的并联电路来实现废气处理，在单介质阻挡放电电源和双介质阻挡电源作用下，分阶段地依次在处理废气后，自动清洗电极并清除极间残留废气。

著录项

公开/公告号CN108905545A

专利类型发明专利
公开/公告日2018-11-30

原文格式PDF
申请/专利权人北京振戎融通通信技术有限公司;
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申请/专利号CN201811056322.2
发明设计人王凯鹏;李政;于越;张舒;王海峰;刘志强;
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申请日2018-09-11
分类号
代理机构北京思海天达知识产权代理有限公司;
代理人楼艮基
地址 100000 北京市朝阳区慧忠里222号
入库时间 2023-06-19 07:23:16

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-12-25

实质审查的生效 IPC(主分类):B01D53/32 申请日:20180911

实质审查的生效
2018-11-30

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1. 可自动清洗介质阻挡放电管的低温等离子体废气处理部件 [P] . 中国专利： CN209093067U . 2019-07-12
2. 可自动清洗介质阻挡放电管的低温等离子体废气处理部件 [P] . 中国专利： CN108905545A . 2018-11-30
3. Plasma processing member, deposition apparatus including the same, and depositing method using the same [P] . 美国专利： US9963783B2 . 2018-05-08

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