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硅片导电类型判别方法及基于该判别方法的判别设备和测试仪

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摘要

本发明公开了一种硅片导电类型判别方法及基于该判别方法的判别设备和测试仪，其中的硅片导电类型判别方法，包括以下步骤：选取待测硅片并测量所述硅片的实际电阻值，将测量所得的所述硅片的实际电阻值与设定的电阻阈值进行对比，若所述实际电阻值高于所述电阻阈值，则所述硅片为P型硅片，若所述实际电阻值低于所述电阻阈值，则所述硅片为N型硅片。本发明的一种硅片导电类型判别方法，通过比较硅片的实际电阻值与设定的电阻阈值之间的大小，能够快速分辨出硅片的导电类型，结果准确，且能够针对薄层面或者硅片的边缘薄层进行检测识别。

著录项

  • 公开/公告号CN108957275A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-12-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 韩华新能源(启东)有限公司;

    申请/专利号CN201810696825.X

  • 发明设计人 李振;陈久林;丁建明;崔钟亨;

    申请日2018-06-29

  • 分类号G01R31/26(20140101);

  • 代理机构32103 苏州创元专利商标事务所有限公司;

  • 代理人孙仿卫;林传贵

  • 地址 226200 江苏省南通市启东经济开发区林洋路888号

  • 入库时间 2023-06-19 07:32:28

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-01-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01R31/26 申请日:20180629

    实质审查的生效

  • 2018-12-07

    公开

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