法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-01-22
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L23/367 申请日:20180810
实质审查的生效
2018-12-28
公开
公开
机译: 微流体芯片,一种制造相同流体的方法,一种微流体芯片的微通道,以及一种能够减小微通道形状中的微通道壁中颗粒壁损耗的微通道的方法
机译: 用于极端UV(EUV)应用的光学系统EUV光刻具有微通道系统,该系统包括微通道段,该微通道段具有通过冷却介质的微通道,并与微镜相关联
机译: 微通道网络的散热装置