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图案的制造方法、光学滤波器的制造方法、固体摄像元件的制造方法、图像显示装置的制造方法、光固化性组合物及膜

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摘要

本发明提供一种图案形成性优异并且抑制了在图案之间产生残渣的图案的制造方法、光学滤波器的制造方法、固体摄像元件的制造方法及图像显示装置的制造方法。并且，提供一种光固化性组合物及膜。图案的制造方法包括：使用含有色材和树脂，且固体成分的酸值为1～25mgKOH/g的光固化性组合物在支承体上形成光固化性组合物层的工序；将光固化性组合物层曝光成图案状的工序；及使用含有有机溶剂的显影液对未曝光部的光固化性组合物层进行处理而显影的工序。

著录项

公开/公告号CN111902775A

专利类型发明专利
公开/公告日2020-11-06

原文格式PDF
申请/专利权人富士胶片株式会社;
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申请/专利号CN201980021987.6
发明设计人大河原昂广;长田崇一郎;奈良裕树;中村翔一;
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申请日2019-03-22
分类号G03F7/32(20060101);G02B5/20(20060101);G03F7/004(20060101);G03F7/038(20060101);G03F7/20(20060101);H01L27/146(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人薛海蛟
地址日本国东京都
入库时间 2023-06-19 08:00:20

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