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波长可调谐的单色真空紫外光源输出装置及方法

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摘要

本发明公开了一种波长可调谐的单色真空紫外光源输出装置及方法。本发明将激光系统产生的两束基频光以小角度斜入射至混频系统中的聚焦透镜的边缘，四波混频产生的真空紫外光及残留的基频光因在同一介质中的折射率不同而以不同角度从聚焦透镜中出射，从而将真空紫外光与基频光进行分离，此设计在保证真空紫外光源单色性的同时，因无需增加额外的光学元件而使真空紫外光源的能量损耗降至最小；当需要改变真空紫外光源波长之时，除改变基频光的波长之外，只需调节透镜偏离中心位置的距离，而基频光的入射方向及真空紫外光源的出射方向始终不变，从而简化了将基频光引入混频系统的光路系统，也使所输出的真空紫外光源兼具可调谐性及可准直性。

著录项

  • 公开/公告号CN111682397A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-09-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 浙江师范大学;

    申请/专利号CN202010655837.5

  • 发明设计人 俞盛锐;李万涛;凌彩宁;杨文绍;简继文;

    申请日2020-07-09

  • 分类号H01S3/101(20060101);H01S3/213(20060101);H01S3/00(20060101);

  • 代理机构33272 杭州奥创知识产权代理有限公司;

  • 代理人王佳健

  • 地址 321004 浙江省金华市婺城区迎宾大道688号

  • 入库时间 2023-06-19 08:19:12

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