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一种多曝光散射信号融合的表面粗糙度测量方法

摘要

本发明公开一种多曝光散射信号融合的表面粗糙度测量方法由激光器发出的光经过会聚透镜、光阑和会聚透镜后形成会聚光,入射到超光滑光学元件表面,经过样品表面反射后形成反射光,进入CCD,同时,反射光附近区域的散射光也进入CCD,对同一位置处采集不同曝光时间的图像,使远离反射光束和靠近反射光束的地方都具有高的分辨率;通过区域特性量测的融合算法对不同曝光时间的散射分布图像进行融合,形成具有大动态范围的散射分布图像,之后建立了散射分布图像与表面粗糙度之间的关系模型,最后通过计算得到被测表面的粗糙度值。本发明克服了现有技术存在的采集单幅散射图像计算被测表面粗糙度时的对比度较低、图像动态范围小和测量精度不高的问题。

著录项

  • 公开/公告号CN111707221A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-09-25

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 西安工业大学;

    申请/专利号CN202010608326.8

  • 申请日2020-06-29

  • 分类号G01B11/30(20060101);

  • 代理机构61114 西安新思维专利商标事务所有限公司;

  • 代理人李凤鸣

  • 地址 710032 陕西省西安市未央区学府中路2号

  • 入库时间 2023-06-19 08:23:55

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