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金属碳化物烧结体以及具备该金属碳化物烧结体的碳化硅半导体制造装置用耐热部件

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摘要

就熔点非常高的金属的碳化物烧结体来说，本申请提供就算是不进行热压、HIP等在高压下的烧结也能够制造的相对密度高并且机械强度优异的金属碳化物烧结体。本申请涉及一种金属碳化物烧结体，其是选自周期表第四族和第五族元素中的至少一种金属的碳化物烧结体，其含有0.1wtppm～10000wtppm的Si元素。

著录项

公开/公告号CN111727180A

专利类型发明专利
公开/公告日2020-09-29

原文格式PDF
申请/专利权人三井金属矿业株式会社;
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申请/专利号CN201980013179.5
发明设计人梶野仁;今浦祥治;
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申请日2019-02-08
分类号C04B35/56(20060101);H01L21/31(20060101);
代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;
代理人陈建全
地址日本东京
入库时间 2023-06-19 08:23:55

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