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ECR离子源及操作ECR离子源的方法

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本申请涉及ECR离子源和用于操作ECR离子源的方法。本发明涉及ECR离子源(1)，其具有：圆柱形的等离子体腔室(2)和用于产生磁场磁体(3)，以使等离子体包围在等离子体腔室(2)中；以及微波发生器(8)，其用于在等离子体腔室(2)的外部产生至少两个微波信号，该ECR离子源的特征在于，多个天线(4)被布置成以一定的角度偏移α径向伸入到等离子体腔室(2)中以辐射线性极化的微波，其中在天线(4)处施加相移的微波信号以在等离子体腔室(2)内形成圆极化的微波。

著录项

公开/公告号CN111916329A

专利类型发明专利
公开/公告日2020-11-10

原文格式PDF
申请/专利权人德利比特有限责任公司;
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申请/专利号CN202010345506.1
发明设计人亚历山德拉·菲利普;
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申请日2020-04-27
分类号H01J37/32(20060101);H05H1/02(20060101);
代理机构11262 北京安信方达知识产权代理有限公司;
代理人张瑞;杨明钊
地址德国戈洛斯惠尔斯多夫
入库时间 2023-06-19 08:50:28

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2023-06-27

授权

发明专利权授予

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