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太赫兹矩形波导的制备方法、矩形波导及波导器件

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摘要

本发明公开一种太赫兹矩形波导的制备方法、矩形波导及波导器件，其中，太赫兹矩形波导的制备方法，包括：采用金属辅助化学刻蚀方法在一半导体晶片上形成立方体凹槽；在刻蚀的凹槽表面沉积第一导电材料；将沉积有第一导电材料的另一晶片与刻蚀的凹槽中沉积有第一导电材料的半导体晶片进行键合，形成以第一导电材料为波导壁的矩形波导。本发明方法制备的波导具有体积小且精度高的优点。

著录项

  • 公开/公告号CN111952709A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-11-17

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 合肥工业大学;

    申请/专利号CN202010822250.9

  • 发明设计人 黄文;张杰;李帅涛;桑磊;

    申请日2020-08-21

  • 分类号H01P11/00(20060101);H01P3/12(20060101);G02B6/122(20060101);G02B6/132(20060101);G02B6/136(20060101);G02B6/138(20060101);

  • 代理机构11672 北京致科知识产权代理有限公司;

  • 代理人魏红雅

  • 地址 230009 安徽省合肥市屯溪路193号

  • 入库时间 2023-06-19 08:56:41

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-06-03

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01P11/00 专利申请号:2020108222509 申请公布日:20201117

    发明专利申请公布后的视为撤回

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