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相位调制方法、相位调制器、标记对准系统及可读存储介质

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摘要

本发明提供了一种相位调制方法、相位调制器、标记对准系统及可读存储介质，在调制频率一定的情况下，能够通过改变最大调制幅度和/或调制幅度数量，来对用于光学对准的激光进行相位调制，以抑制寄生干涉，使得所述调制频率对应的杂散光消失的光程差范围内的杂散光条纹对比度更接近于0，进而实现杂散光影响的消除，提高光学对准信号的精度。进一步地，本发明的技术方案，还可以通过改变调制频率来有效增大杂散光消失的光程差范围，以满足不同焦距的不同光学对准系统的需求，通用性高。

著录项

公开/公告号CN112015060A

专利类型发明专利
公开/公告日2020-12-01

原文格式PDF
申请/专利权人上海微电子装备(集团)股份有限公司;
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申请/专利号CN201910465393.6
发明设计人胥欣;孙建超;
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申请日2019-05-30
分类号G03F9/00(20060101);G02F1/03(20060101);
代理机构31295 上海思捷知识产权代理有限公司;
代理人王宏婧
地址 201203 上海市浦东新区张东路1525号
入库时间 2023-06-19 09:03:00

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2. 相位调制方法、相位调制器、标记对准系统及可读存储介质 [P] . 中国专利： CN112015060A . 2020-12-01
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