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用于确定辐射在样品平面中的合成功率的方法和光学布置

摘要

本发明涉及一种确定在光学布置的样品平面(8)中的辐射的合成功率的方法。步骤A中,捕获在光学布置的束路径中的光学元件的当前配置。步骤B中,提供辐射且将辐射沿着所述束路径引导到样品平面(8)中。步骤C中,捕获在样品平面(8)中的辐射的功率的至少一个测量值作为合成功率;以及步骤D中,存储与所相应的当前配置相关的测量值。对于至少一个其他当前配置,重复步骤A至D。此外,本发明还涉及一种确定在样品平面(8)中的辐射的合成功率的光学布置。

著录项

  • 公开/公告号CN112098375A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-12-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 卡尔蔡司显微镜有限责任公司;

    申请/专利号CN202010556726.9

  • 发明设计人 W.巴思;

    申请日2020-06-17

  • 分类号G01N21/63(20060101);G02B21/06(20060101);

  • 代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;

  • 代理人王蕊瑞

  • 地址 德国耶拿

  • 入库时间 2023-06-19 09:13:40

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-04-08

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/63 专利申请号:2020105567269 申请日:20200617

    实质审查的生效

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