首页> 中国专利> 防护膜组件用支撑框、防护膜组件及防护膜组件用支撑框的制造方法、以及使用防护膜组件的曝光原版和曝光装置

防护膜组件用支撑框、防护膜组件及防护膜组件用支撑框的制造方法、以及使用防护膜组件的曝光原版和曝光装置

页面导航

摘要
著录项
法律信息
相似文献

摘要

提供支撑框、在该支撑框上设置有极紫外光光刻用的防护膜的防护膜组件、和支撑框的制造方法、以及使用它们的曝光原版和曝光装置，该支撑框在通气孔上设置有能够容易装卸的过滤器，并能够设置极紫外光光刻用的防护膜。提供的防护膜组件用支撑框，具有第一支撑框部、第二支撑框部和过滤器，所述过滤器具有平板状的框形状，被所述第一支撑框部和所述第二支撑框部夹持，所述第一支撑框部具有：第一主体部，具有平板状的框形状；以及第一卡合部，从所述第一主体部向所述防护膜组件用支撑框的厚度方向突出，所述第二支撑框部具有：第二主体部，具有平板状的框形状；以及第二卡合部，配置在所述第二主体部的沿所述防护膜组件用支撑框的厚度方向设置的凹部，并与所述第一卡合部卡合。

著录项

公开/公告号CN112154376A

专利类型发明专利
公开/公告日2020-12-29

原文格式PDF
申请/专利权人三井化学株式会社;
展开▼

申请/专利号CN201980031898.X
发明设计人石川彰;大久保敦;小野阳介;高村一夫;
展开▼

申请日2019-06-12
分类号G03F1/64(20060101);H01L21/673(20060101);
代理机构11243 北京银龙知识产权代理有限公司;
代理人金成哲;宋春华
地址日本东京都
入库时间 2023-06-19 09:19:57

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2023-08-18

授权

发明专利权授予

相似文献

专利
中文文献
外文文献

1. 防护膜组件用支撑框、防护膜组件及防护膜组件用支撑框的制造方法、以及使用防护膜组件的曝光原版和曝光装置 [P] . 中国专利： CN112154376A . 2020-12-29
2. 防护膜组件框、防护膜组件及其制造方法、曝光原版及其制造方法、曝光装置以及半导体装置的制造方法 [P] . 中国专利： CN106233201A . 2016-12-14
3. Method for manufacturing support frame for pellicle, support frame for pellicle, and pellicle [P] . 美国专利： US9599889B2 . 2017-03-21

机译：防护薄膜组件的支撑框架的制造方法，防护薄膜组件的支撑框架以及防护薄膜组件
4. pellicle frame, method of manufacturing a pellicle and pellicle frame [P] . 日本专利： JP5767535B2 . 2015-08-19

机译：防护薄膜组件框架，防护薄膜组件的制造方法以及防护薄膜组件框架
5. Apparatus and method for manufacturing a pellicle, and a pellicle [P] . 美国专利： US10365558B2 . 2019-07-30

机译：防护薄膜组件的制造装置，方法以及防护薄膜组件