公开/公告号CN112203962A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-01-08
原文格式PDF
申请/专利权人 乌斯特技术股份公司;
申请/专利号CN201980036579.8
申请日2019-05-27
分类号B65H63/00(20060101);B65H63/024(20060101);D01H9/18(20060101);D01H13/32(20060101);D01H1/02(20060101);
代理机构31319 上海德禾翰通律师事务所;
代理人毛海燕
地址 瑞士乌斯特
入库时间 2023-06-19 09:29:07
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-11-01
授权
发明专利权授予
机译: 自动环锭纺纱系统和自动操作方法
机译: 制造半导体装置的方法,半导体制造装置的自动操作方法,半导体制造装置的自动操作系统以及CMP装置的自动操作方法,以最大程度地增加工作比率并改进
机译: 半导体装置的制造方法,半导体制造装置的自动操作方法和自动操作系统以及CMP装置的自动操作方法