拉晶炉配套简谐式除尘器内SiO清除方法及装置

技术领域

本发明涉及半导体制备技术领域，特别是涉及一种拉晶炉配套简谐式除尘器内SiO清除方法及装置。

背景技术

在光伏行业生产单晶硅棒的过程中，硅原料和石英坩埚会在高温下生成极容易和氧气发生剧烈反应的一氧化硅(SiO)。现有技术采取的是利用电磁阀控制空气缓慢进入简谐式除尘器内，用控制空气进入量的方式控制SiO和空气的反应(一次氧化)速度，以降低此反应的发热量。

现有的SiO粉尘一次氧化系统采用被动摄入方式，空气通过电磁阀、流量器被动摄入简谐式除尘器内，当简谐式除尘器内气压与外部大气压一致时压差消失，进气停止。受设备本身体积所限，被动摄入的空气量有限，可反应消耗的SiO有限，且被动摄入式的空气渗透力有限，容易造成堆积的SiO表层被氧化，深层未氧化的情况。目前随着拉晶炉连续运行时间的进一步增加，SiO的产生量远超以往，采用被动进气的一次氧化工艺已经无法完全消耗SiO。当清灰作业时，简谐式除尘器下部灰仓内未被氧化的SiO接触大量空气，迅速氧化产生大量热量，高温烘烤会导致上部滤料烧损甚至粉尘爆炸。被烧损的滤材失去过滤功能，如不及时发现并更换，会使生产过程中的产生的SiO粉尘直接随气流进入后端的干式真空泵，不仅磨损真空泵部件，降低真空泵寿命，更严重的情况下粉尘会卡死真空泵，致使整个生产系统停产并出现外排气体粉尘超标。

发明内容

本发明的目的是提供一种拉晶炉配套简谐式除尘器内SiO清除方法及装置，以解决上述现有技术存在的问题，使SiO在安全可控状态下完成氧化反应，避免清灰作业时烧损滤料及粉尘爆炸的发生。

为实现上述目的，本发明提供了如下方案：

本发明提供一种拉晶炉配套简谐式除尘器内SiO清除方法，拉晶炉生产作业完成后，并在一次氧化结束后，向简谐式除尘器下部灰仓内通入压缩空气，并控制压缩空气的进气量。

优选的，通入的压缩空气的压强为0.01MPa～0.02MPa。

本发明还提供一种拉晶炉配套简谐式除尘器内SiO清除装置，包括依次连接的压缩空气接头、调压阀和流量控制阀，所述压缩空气接头自由端用于与压缩空气出气管道连接，所述流量控制阀出气端用于与简谐式除尘器下部灰仓连接。

优选的，还包括扩散室，所述流量控制阀通过管路与所述扩散室连接，所述扩散室上设有出气管，所述出气管用于与简谐式除尘器下部灰仓连接。

优选的，所述流量控制阀为电磁阀。

优选的，连接所述流量控制阀和所述扩散室的管路上设有一个手动流量控制阀。

优选的，所述扩散室底部设有排污管，所述排污管上连接有排污阀。

优选的，所述手动流量控制阀为手动球阀。

本发明相对于现有技术取得了以下技术效果：

本发明提供一种拉晶炉配套简谐式除尘器内SiO清除方法及装置，在拉晶炉生产作业完成后，并在一次氧化结束后，向简谐式除尘器下部灰仓内通入压缩空气，压缩空气在简谐式除尘器内扩散，氧化表层的SiO，并渗透氧化深层SiO，通过控制通入压缩空气的进气量，使SiO在安全可控状态下完成氧化反应，避免清灰作业时烧损滤料及粉尘爆炸的发生。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明提供的拉晶炉配套简谐式除尘器内SiO清除装置的结构示意图；

图中：1-压缩空气接头、2-调压阀、3-流量控制阀、4-扩散室、5-出气管、6-手动流量控制阀、7-排污管、8-排污阀。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明的目的是提供一种拉晶炉配套简谐式除尘器内SiO清除方法及装置，以解决现有技术存在的问题，使SiO在安全可控状态下完成氧化反应，避免清灰作业时烧损滤料及粉尘爆炸的发生。

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

实施例一

本实施例提供一种拉晶炉配套简谐式除尘器内SiO清除方法，拉晶炉生产作业完成后，并在一次氧化结束后，向简谐式除尘器下部灰仓内通入压缩空气，并控制压缩空气的进气量。

拉晶炉生产作业完成后，先通过一次氧化系统进行被动式摄入空气进行初步氧化反应，一次氧化结束后，再向简谐式除尘器下部灰仓内通入压缩空气，如果一次氧化不完成，直接通入压缩空气会产生爆炸，存在安全隐患，通入的压缩空气在简谐式除尘器内扩散，充分地与简谐式除尘器内堆积的SiO接触，使表层的SiO被氧化，同时，压缩空气渗透至深层的SiO内，使得深层的SiO能够被缓慢氧化，通过调压阀及流量控制阀向简谐式除尘器下部灰仓通入定量的压缩空气，从而使简谐式除尘器内SiO在安全可控状态下完成氧化反应，避免清灰作业时烧损滤料及粉尘爆炸的发生，从而也就不会出现因滤料烧损没有及时发现并更换，使得SiO粉尘直接随气流进入后端的干式真空泵，不仅磨损真空泵部件，降低真空泵寿命，更严重的情况下粉尘会卡死真空泵，致使整个生产系统停产并出现外排气体粉尘超标的情况，达到了保护过滤滤材及防治粉尘颗粒外排大气的目的。

在本实施例中，通入的压缩空气的压强为0.01MPa～0.02MPa，通过调压阀进行控制，使得压缩空气渗透速度适中，保证SiO不至于因氧化反应速度过快而产生大量热量烧损滤材。

实施例二

如图1所示，本实施例提供一种拉晶炉配套简谐式除尘器内SiO清除装置，包括依次连接的压缩空气接头1、调压阀2和流量控制阀3，压缩空气接头1自由端用于与压缩空气出气管道连接，流量控制阀3出气端用于与简谐式除尘器下部灰仓连接。

将压缩空气接头1与压缩空气出气管道连接，拉晶炉正常生产作业时，关闭流量控制阀3；拉晶炉生产作业完成后，并在一次氧化结束后，调节调压阀2，打开流量控制阀3，使通入至简谐式除尘器下部灰仓内的压缩空气压力至设定压力值，具体可为0.01MPa～0.02MPa，压缩空气在简谐式除尘器内扩散，充分地与简谐式除尘器内堆积的SiO接触，使表层的SiO被氧化，同时，压缩空气渗透至深层的SiO内，使得深层的SiO能够被缓慢氧化，通过调压阀2及流量控制阀3通入定量的压缩空气，从而使简谐式除尘器内SiO在安全可控状态下完成氧化反应，避免清灰作业时烧损滤料及粉尘爆炸的发生，从而也就不会出现因滤料烧损没有及时发现并更换，使得SiO粉尘直接随气流进入后端的干式真空泵，不仅磨损真空泵部件，降低真空泵寿命，更严重的情况下粉尘会卡死真空泵，致使整个生产系统停产并出现外排气体粉尘超标的情况，达到了保护过滤滤材及防治粉尘颗粒外排大气的目的。

在本实施例中，还包括扩散室4，流量控制阀3通过管路与扩散室4连接，扩散室4上设有出气管5，出气管5用于与简谐式除尘器下部灰仓连接。压缩空气进入到扩散室4，自由扩散后达到气流稳定，经过出气管5进入简谐式除尘器下部灰仓内，使得压缩空气在简谐式除尘器内能够更加稳定地扩散，避免局部氧气浓度过高(局部氧化反应过于激烈)和死流区(局部SiO未被氧化)的出现。

在本实施例中，流量控制阀3为电磁阀，通过电磁阀对压缩空气的流通进行控制，操作方便快捷。

在本实施例中，连接流量控制阀3和扩散室4的管路上设有一个手动流量控制阀6，手动流量控制阀6作为手动保险装置而设置，拉晶炉正常生产作业时手动流量控制阀6为开启状态，若正常生产作业时流量控制阀3(电磁阀)出现故障意外开启，则手动关闭手动流量控制阀6，避免压缩空气进入到简谐式除尘器内。

在本实施例中，扩散室4底部设有排污管7，排污管7上连接有排污阀8，通过开启排污阀8可将扩散室4内的压缩空气的污垢排出。

在本实施例中，手动流量控制阀6为手动球阀，结构简单，操作方便。

本发明中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处。综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。