公开/公告号CN112271212A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-01-26
原文格式PDF
申请/专利权人 苏州浪潮智能科技有限公司;
申请/专利号CN202011148797.1
发明设计人 蔡俊嘉;
申请日2020-10-23
分类号H01L29/417(20060101);H01L29/78(20060101);H01L21/336(20060101);
代理机构11570 北京众达德权知识产权代理有限公司;
代理人梁凯
地址 215000 江苏省苏州市吴中经济开发区郭巷街道官浦路1号9幢
入库时间 2023-06-19 09:40:06
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-08-05
授权
发明专利权授予
机译: 光掩模,光掩模组,光掩模设计方法和光掩模组设计方法
机译: 光照相术制备印刷在晶片上的光掩模组的分解布局设计方法,光掩模组的形成方法和制造集成电路的方法
机译: 机械组装曲轴,一种用于陆地机动车辆的设计方法,涉及建模组件的建模,该组件可通过基本实体控制,其中实体和建模存储在不同的文件中并彼此连接