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用于洛伦兹电子显微镜的校正器转移光学器件

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摘要

本文公开了跨多种操作模式具有优化性能的带电粒子显微镜。更具体地，本公开包括改进的带电粒子显微镜，其在标准操作和洛伦兹操作模式两种模式下均提高和/或优化所述显微镜的所述性能。所述带电粒子显微镜在校正器和传统转移透镜之间包括额外的转移透镜，这允许在所述标准操作模式和所述洛伦兹操作模式下灵活地优化性能。举例来说，在所述洛伦兹操作模式下，根据本公开的改进的带电粒子显微镜可用来调谐C5像差，同时几乎不影响散焦和/或CS像差。另外，额外的转移透镜为本文公开的带电粒子显微镜提供了额外的自由度，用所述额外的自由度将散焦和总的CS和C5归零。

著录项

公开/公告号CN112309811A

专利类型发明专利
公开/公告日2021-02-02

原文格式PDF
申请/专利权人 FEI 公司;
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申请/专利号CN202010721772.X
发明设计人 A·亨斯特拉;
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申请日2020-07-24
分类号H01J37/26(20060101);H01J37/22(20060101);H01J37/20(20060101);
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人周学斌;申屠伟进
地址美国俄勒冈州
入库时间 2023-06-19 09:46:20

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2022-08-05

实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/26 专利申请号:202010721772X 申请日:20200724

实质审查的生效

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