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一种光源掩膜协同优化半隐式离散化的窄带水平集计算方法

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本发明公开了一种光源掩膜协同优化半隐式离散化的窄带水平集计算方法，以离散化的电路板图变量和离散化的光源变量作为观测矩阵，并将对应的成像矩阵与目标图案的离散化矩阵相等作为约束条件，构造出包含距离正则化水平集项和约束条件的拉格朗日方程，得到时变的差分方程；然后分别隐式和显式地离散化其中的扩散项和非扩散项，使用加性算子分裂在水平和竖直的两个方向上构造三对角线性方程组，并使用托马斯方法进行高效的求解。本发明在降低优化维度的同时能提高优化收敛效率。

著录项

公开/公告号CN112363371A

专利类型发明专利
公开/公告日2021-02-12

原文格式PDF
申请/专利权人广东工业大学;
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申请/专利号CN202011180414.9
发明设计人沈逸江;
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申请日2020-10-29
分类号G03F7/20(20060101);
代理机构44329 广东广信君达律师事务所;
代理人孔祥健
地址 510062 广东省广州市越秀区东风东路729号
入库时间 2023-06-19 09:52:39

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法律状态公告日

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法律状态
2023-07-25

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发明专利权授予

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