• 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 中国专利> 具有极高Q值的氮化铝lamb波谐振器及加工方法

具有极高Q值的氮化铝lamb波谐振器及加工方法

页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 法律信息
  • 相似文献

摘要

本发明提供了一种具有极高Q值的氮化铝lamb波谐振器及加工方法，包括：电极、薄膜(2)；所述电极包括：叉指电极(1)、底电极(3)；所述叉指电极(1)的一端接入RF信号；所述叉指电极(1)的另一端与地相连；所述底电极(3)采用电性浮接；所述薄膜(2)设置于叉指电极(1)、底电极(3)之间。本发明通过采用压电薄膜，解决了其他常规压电薄膜很难与半导体工艺兼容、介电常数过高、机械品质因数低等问题。这使得本专利所提出的谐振器在高灵敏度智能传感器的应用中能发挥更加优越的性能。

著录项

  • 公开/公告号CN112421200A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-02-26

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 浙江信唐智芯科技有限公司;

    申请/专利号CN202011309982.4

  • 发明设计人 高安明;姜伟;刘伟;

    申请日2020-11-20

  • 分类号H01P7/10(20060101);H01P1/207(20060101);

  • 代理机构31334 上海段和段律师事务所;

  • 代理人李佳俊;郭国中

  • 地址 325024 浙江省温州市龙湾区永中街道温州浙南科技城创新创业新天地1号楼505(仅限办公使用)

  • 入库时间 2023-06-19 10:00:31

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-02-25

    专利申请权的转移 IPC(主分类):H01P 7/10 专利申请号:2020113099824 登记生效日:20220211 变更事项:申请人 变更前权利人:浙江信唐智芯科技有限公司 变更后权利人:浙江星曜半导体有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:325024 浙江省温州市龙湾区永中街道温州浙南科技城创新创业新天地1号楼505(仅限办公使用) 变更后权利人:325038 浙江省温州市浙南科技城创新创业新天地一期1号楼506室(自主申报)

    专利申请权、专利权的转移

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号