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用于在复杂几何形状部件上改进的气相沉积的系统和方法

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本发明涉及用于在复杂几何形状部件上改进的气相沉积的系统和方法。一种在复杂几何形状部件的内部基底表面上沉积材料层的示例性方法包括以下步骤：提供具有孔口的复杂几何形状部件，该孔口限定了复杂几何形状部件的内部基底表面的边缘，内部基底表面的至少一部分限定了从孔口不可见的第一区域；提供邻近复杂几何形状部件的第一区域的加热元件；将加热元件通电以升高第一区域的表面温度并在第一区域和相邻区域之间建立热梯度；以及提供气相沉积设备，该气相沉积设备被配置成在对应于复杂几何形状部件的第一区域的内部基底表面上沉积材料层。

著录项

公开/公告号CN112708873A

专利类型发明专利
公开/公告日2021-04-27

原文格式PDF
申请/专利权人通用汽车环球科技运作有限责任公司;
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申请/专利号CN202011148773.6
发明设计人 S·J·韩;J·A·斯瓦茨;G·W·布拉迪;
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申请日2020-10-23
分类号C23C16/46(20060101);C23C16/455(20060101);
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人刘桢;刘茜
地址美国密执安州
入库时间 2023-06-19 10:46:31

法律信息

法律状态公告日

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法律状态
2023-08-08

授权

发明专利权授予

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