公开/公告号CN112834609A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-05-25
原文格式PDF
申请/专利权人 天津因科新创科技有限公司;
申请/专利号CN202011617805.2
申请日2020-12-31
分类号G01N27/90(20210101);
代理机构12224 天津盈佳知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人安娜
地址 300051 天津市和平区岳阳道71号世纪龙写字楼502室
入库时间 2023-06-19 11:05:16
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-10-14
授权
发明专利权授予
机译: 基于能够降低缺陷率的Zigbee通信的冲击桩通过缺陷分类算法的缺陷检测装置和缺陷检测方法
机译: 基于变化条件下暴露的测试标本的光刻术中重复缺陷的检测方法
机译: 用于检测表面缺陷和在表面皮肤下的缺陷的装置及其检测方法