公开/公告号CN112924480A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-06-08
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海高等研究院;
申请/专利号CN202110112178.5
申请日2021-01-27
分类号G01N23/201(20180101);G01N21/3563(20140101);G01N21/3577(20140101);G01N21/01(20060101);
代理机构31002 上海智信专利代理有限公司;
代理人邓琪
地址 201210 上海市浦东新区张江高科技园区海科路99号
入库时间 2023-06-19 11:19:16
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-04-07
授权
发明专利权授予
机译: X射线曝光设备X射线曝光方法X射线面罩X射线反射镜同步辐射器辐射同步辐射方法和半导体装置
机译: X射线曝光设备X射线曝光方法X射线面罩X射线反射镜同步辐射器辐射同步辐射方法和半导体装置
机译: X射线曝光设备,X射线曝光方法,X射线掩模,X射线反射镜,同步加速辐射器,同步加速辐射方法和半导体装置