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具有非对称周期结构的III族氮化物复合衬底及其加工方法

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本发明公开了一种具有非对称周期结构的III族氮化物复合衬底及其加工方法，该复合衬底在特定取向的衬底上定义特定的两个方向，沿不同方向制备具有不同周期的图形，用于二次外延非、半极性III族氮化物材料。使用该复合衬底，可解决非、半极性III族氮化物在生长面内与传统常规衬底存在晶格失配各向异性的问题，从而提高非、半极性III族氮化物的外延生长质量，广泛应用于非、半极性III族氮化物光电子和电力电子器件。

著录项

公开/公告号CN112992653A

专利类型发明专利
公开/公告日2021-06-18

原文格式PDF
申请/专利权人南京信息工程大学;
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申请/专利号CN202110153096.5
发明设计人赵见国;杨旻荟;曹锡哲;施江熠;王孟璇;田澄睿;顾浚哲;
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申请日2021-02-04
分类号H01L21/02(20060101);
代理机构32238 南京汇盛专利商标事务所(普通合伙);
代理人张立荣
地址 210044 江苏省南京市江北新区宁六路219号
入库时间 2023-06-19 11:27:38

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法律状态公告日

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法律状态
2023-05-23

授权

发明专利权授予

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