公开/公告号CN113018911A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-06-25
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社马勒滤清系统;马勒国际有限公司;
申请/专利号CN202011559416.9
申请日2020-12-25
分类号B01D19/00(20060101);H02K9/19(20060101);
代理机构11413 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人罗小晨;刘继富
地址 日本东京
入库时间 2023-06-19 11:39:06
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-10-28
授权
发明专利权授予
机译: 储液罐内部有除气泡装置,旋风分离器腔在流体中产生涡流,流出口可将无气泡的流体从旋流分离器腔中流出来,出口用于从流体分离出的气泡逸出
机译: 用于制造半导体器件的气泡分离器,使用该气泡分离器的用于制造半导体器件的处理液供应装置及其驱动方法
机译: 用于制造半导体器件的气泡分离器,使用该气泡分离器的液体供应装置及其驱动方法