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一种大曲率光学元件曲率半径控制方法

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本发明公开了一种基于薄膜应力精确控制大曲率光学元件曲率半径的加工方法。这种控制方法是传统光学加工技术与镀膜技术相结合的方法，可以实现光学元件曲率半径大小的精确控制，特别利用了薄膜应力特性，将这种薄膜镀制到光学元件表面上，薄膜应力可以改变元件曲率半径，最终达到精确控制光学元件曲率半径的目的。同时该发明优势在于，在不影响元件的光学特性的前提下，根据薄膜厚度与应变的线性关系，通过沉积不同厚度的薄膜可以精确控制不同曲率半径的光学元件。该发明可以有效减少生产时间，提高效率。

著录项

公开/公告号CN113061861A

专利类型发明专利
公开/公告日2021-07-02

原文格式PDF
申请/专利权人中国科学院大连化学物理研究所;
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申请/专利号CN201911284817.5
发明设计人李刚;吕起鹏;邓淞文;刘锐;王峰;金玉奇;
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申请日2019-12-13
分类号C23C14/46(20060101);C23C14/54(20060101);G02B1/10(20150101);G01B11/24(20060101);
代理机构21002 沈阳科苑专利商标代理有限公司;
代理人郑伟健
地址 116023 辽宁省大连市沙河口区中山路457-41号
入库时间 2023-06-19 11:42:32

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2023-05-09

发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C14/46 专利申请号:2019112848175 申请公布日:20210702

发明专利申请公布后的驳回

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外文文献

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