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一种晶圆搬运机器人上的晶圆夹持机构

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摘要

本发明属于电子半导体技术领域，特别涉及一种晶圆搬运机器人上的晶圆夹持机构。包括外壳、手指、推杆、直线驱动机构及位置检测机构，其中手指的一端与外壳连接，另一端设有手指定位块；直线驱动机构和位置检测机构设置于外壳内，推杆的一端与直线驱动机构连接，另一端穿出外壳且与推块连接；推块与手指定位块协同作用夹持放置于手指上的晶圆；位置检测机构用于检测推块是否到达夹持位置或初始位置。本发明可根据晶圆自身的强度调节夹持机构的夹持力度，同时调节夹持速度使夹持过程不对晶圆造成损伤。

著录项

  • 公开/公告号CN113211471A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-08-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 沈阳芯源微电子设备股份有限公司;

    申请/专利号CN202110489366.X

  • 发明设计人 吴天尧;李舒驰;

    申请日2021-04-29

  • 分类号B25J15/00(20060101);

  • 代理机构21002 沈阳科苑专利商标代理有限公司;

  • 代理人何丽英

  • 地址 110168 辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号

  • 入库时间 2023-06-19 12:08:44

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-03-21

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B25J15/00 专利申请号:202110489366X 申请公布日:20210806

    发明专利申请公布后的驳回

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