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一种基于相变材料的空间光型电光调制器件及其制造方法

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本发明公开一种基于相变材料的空间光型电光调制器件及其制造方法，该器件由衬底、下电极层、相变层、上电极层和覆盖层多层复合结构构成，其中上下电极层分别包含规则排列的N位和M位金属微纳光栅，作为器件的电极和光场调控单元。通过控制上下电极偏压，使相变材料形成不同晶化程度的相变区域，导致光学介电常数发生显著改变，从而对器件的反射光与共振吸收峰进行动态电致调制。本发明的器件可实现具有N×M面阵单元的空间光调制，工作频段位于3~10微米的中红外波段。相变材料在非晶态时，器件能够实现接近100%的完美吸收；非晶态‑晶态之间转变时，实现约80%的调制深度。不仅仅可以实现完美吸收峰的动态调控，而且还能够对空间入射光具有动态幅度调控。

著录项

公开/公告号CN113376870A

专利类型发明专利
公开/公告日2021-09-10

原文格式PDF
申请/专利权人杭州电子科技大学;
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申请/专利号CN202110545446.2
发明设计人刘孝凯;胡鑫;陈迎鑫;张鉴;张雪峰;
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申请日2021-05-19
分类号G02F1/03(20060101);
代理机构33109 杭州杭诚专利事务所有限公司;
代理人刘正君
地址 310018 浙江省杭州市江干区下沙高教园区
入库时间 2023-06-19 12:32:17

法律信息

法律状态公告日

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法律状态
2023-08-15

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发明专利权授予

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