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一种金属钌的高标定率EBSD制样方法

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本发明涉及一种金属钌的高标定率EBSD制样方法，属于EBSD样品制备技术领域。本发明将真空烧结的金属钌切割成金属钌样品；对金属钌样品的待EBSD分析表面或截面进行机械抛光，再采用乙醇对机械抛光面进行清洗；真空条件下，对金属钌样品的机械抛光面进行能量递减的氩离子抛光处理，取出样品即得金属钌的高标定率EBSD样品。本发明方法可以解决金属钌耐蚀性极强不易电解抛光腐蚀的问题，又能有效地去除样品表面因机械抛光所产生的表面应力层，以及消除高能量离子轰击样品表面产生的非晶层，有利于EBSD测试时获得更强的花样和较高的衍射花样标定率，以便对金属钌进行微观组织与织构的研究；金属钌样品，标定率可达99％以上。

著录项

公开/公告号CN113418946A

专利类型发明专利
公开/公告日2021-09-21

原文格式PDF
申请/专利权人贵研检测科技(云南)有限公司;贵研铂业股份有限公司;
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申请/专利号CN202110868750.0
发明设计人王一晴;张仁耀;袁晓虹;甘建壮;陈国华;毛端;陈雯;
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申请日2021-07-30
分类号G01N23/203(20060101);G01N23/20008(20180101);
代理机构12246 天津煜博知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人朱维
地址 650106 云南省昆明市高新技术开发区科技路988号
入库时间 2023-06-19 12:40:27

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法律状态公告日

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法律状态
2022-08-09

授权

发明专利权授予

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1. 一种金属钌的高标定率EBSD制样方法 [P] . 中国专利： CN113418946A . 2021-09-21
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