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基于准零刚度磁场的超精密垂直轴重力补偿装置及方法

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本发明公开了一种基于准零刚度磁场的超精密垂直轴重力补偿装置及方法，包括基座、大行程超精密垂直轴组件、大行程普通精度运动轴组件和运动控制器，大行程超精密垂直轴组件与大行程普通精度运动轴组件的行程均大于20mm；二者可在重力方向上同步运动，大行程超精密垂直轴组件和大行程普通精度运动轴组件间可产生与重力作用方向相反的悬浮力用于重力的补偿；大行程超精密垂直轴组件和大行程普通精度运动轴组件均与所述运动控制器进行电连接。采用悬浮力来对竖直方向移动时的重力进行补偿，通过磁场产生悬浮力来进行重力补偿的方法，其响应速度更快且更加稳定，对大行程超精密垂直轴重力补偿的效果更好，进而降低重力对大行程超精密垂直轴运动的影响。

著录项

公开/公告号CN113489381A

专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-08

原文格式PDF
申请/专利权人中国工程物理研究院机械制造工艺研究所;
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申请/专利号CN202110808024.X
发明设计人李星占;苏星;岳友飞;李加胜;姜忠;段方;戴晓静;魏巍;
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申请日2021-07-16
分类号H02N15/00(20060101);
代理机构51220 成都行之专利代理事务所(普通合伙);
代理人喻英
地址 621000 四川省绵阳市绵山路64号
入库时间 2023-06-19 12:49:58

法律信息

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法律状态
2022-11-29

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发明专利权授予

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1. 基于准零刚度磁场的超精密垂直轴重力补偿装置及方法 [P] . 中国专利： CN113489381A . 2021-10-08
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