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公开/公告号CN113498441A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-12
原文格式PDF
申请/专利权人 凸版印刷株式会社;
申请/专利号CN202080017784.2
发明设计人 山田清治;柴田泰充;藤户大生;
申请日2020-04-23
分类号C23C14/04(20060101);G01N21/956(20060101);
代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;
代理人戚宏梅
地址 日本东京都
入库时间 2023-06-19 12:51:29
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-11
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/04 专利申请号:2020800177842 申请日:20200423
实质审查的生效
机译: 沉积掩模缺陷原因确定系统,蒸发掩模缺陷导致确定方法和程序
机译: 掩模蒸镀方法,掩模蒸镀系统,掩模,掩模的制造方法,显示面板的制造装置,显示面板以及电子设备
机译: 分部缺陷原因确定方法及分部可追溯性系统
机译:开始开发用于铝蒸镀的透明窗口“掩模蒸镀”
机译:关于缺陷原因责任范围的争议排除了授予程序中排除的原因
机译:使用数值模拟确定选定模锻件示例中的缺陷原因
机译:通过高斯混合模型确定针对锥形扫描和自旋扫描掩模版系统的火炬分配程序有效性
机译:编码掩模成像系统的设计和分析。
机译:Covid-19大流行中的掩模重用:为过滤面板呼吸器去污创造廉价且可伸缩的紫外线系统
机译:确定柔性电缆焊料芯吸,变色和孔位缺陷原因的实验设计