首页> 中国专利> 一种螺旋扫描式表面形貌测量的速度及加速度匹配方法

一种螺旋扫描式表面形貌测量的速度及加速度匹配方法

页面导航

摘要
著录项
相似文献

摘要

本发明公开了一种螺旋扫描式表面形貌测量的速度及加速度匹配方法，包括固定于y向直线运动平台上的x向直线运动平台，固定在x向直线运动平台上的θz向旋转平台,θz向旋转平台的上方悬设有z向直线运动平台，z向直线运动平台上设有激光位移传感器。y向直线运动平台固定在大理石平台上，z向直线运动平台固定在大理石立柱上。还公开了计算速度和加速度匹配的方法。本发明能使系统在径向和周向的采样间隔均应大小合适，从而使测量数据能够很好的反映被测微结构表面的形貌；只有在起始(结束)时x向直线平台和θz向旋转平台需要加速(减速)，其他时间x向直线平台和θz向旋转平台的速度能一直保持匀速，从而使测量速度大大提高。

著录项

公开/公告号CN113514005A

专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-19

原文格式PDF
申请/专利权人宁波大学;
展开▼

申请/专利号CN202110723478.7
发明设计人黄军;崔玉国;应荣辉;汪家乐;任志胜;
展开▼

申请日2021-06-29
分类号G01B11/24(20060101);
代理机构33219 宁波市天晟知识产权代理有限公司;
代理人王美荣;黄晓凡
地址 315211 浙江省宁波市江北区风华路818号宁波大学机械工程与力学学院
入库时间 2023-06-19 12:54:37

相似文献

专利
中文文献
外文文献

1. 一种螺旋扫描式表面形貌测量的速度及加速度匹配方法 [P] . 中国专利： CN113514005A . 2021-10-19
2. 一种螺旋扫描式表面形貌测量系统的对中方法 [P] . 中国专利： CN107860341B . 2019.10.11
3. Body's e.g. artificial satellite, gravitational and/or inertia acceleration measuring method for use in e.g. geophysics, involves calculating gravitational acceleration of body from measurements of acceleration provided by accelerometers [P] . 法国专利： FR2918757A1 . 2009-01-16

机译：身体的人造卫星，重力和/或惯性加速度测量方法，例如用于地球物理学涉及根据加速度计提供的加速度测量结果来计算物体的重力加速度
4. VEHICLE ACCELERATION MEASURING METHOD, VEHICLE ACCELERATION MEASURING INSTRUMENT, AND VEHICLE ACCELERATION MEASURING PROGRAM [P] . 日本专利： JP2008249561A . 2008-10-16

机译：车辆加速度测量方法，车辆加速度测量仪器和车辆加速度测量程序
5. Superconducting accelerometer, acceleration measuring apparatus, and acceleration measuring method [P] . 美国专利： US9322838B2 . 2016-04-26

机译：超导加速度计，加速度测量装置和加速度测量方法