首页> 中国专利> 具有先进零趋势诊断的质量流量控制器

具有先进零趋势诊断的质量流量控制器

页面导航

摘要
著录项
相似文献

摘要

一种用于校准质量流量控制器的诊断系统，该诊断系统包括控制器，该控制器可通信地耦接到阀和(多个)传感器。该控制器基于预定的设定点值和来自该至少一个传感器的通信来控制该阀。该控制器确定设定点值调整次数，并且将校准操作的结果与设定点值加上容差值进行比较。该控制器生成通知消息，该通知消息指示该预定的设定点值调整次数和该比较的结果中的至少一者。该控制器至少部分地基于该预定的设定点值调整次数、该比较的结果、以及用户输入之一来校准该质量流量控制器。该通知消息可以包括温度值、阀驱动值、传感器流速值、气体流小时数、以及基于总流体小时数的剩余设定点调整次数。

著录项

公开/公告号CN113544619A

专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-22

原文格式PDF
申请/专利权人伊利诺斯工具制品有限公司;
展开▼

申请/专利号CN201980085064.7
发明设计人约瑟夫·约翰·西卡;兰迪·伯翰;史蒂文·坎尼西泽;
展开▼

申请日2019-10-25
分类号G05D7/06(20060101);G05B23/00(20060101);G01F25/00(20060101);
代理机构31259 上海脱颖律师事务所;
代理人脱颖
地址美国伊利诺伊州
入库时间 2023-06-19 12:56:12

相似文献

专利
中文文献
外文文献

1. 具有先进零趋势诊断的质量流量控制器 [P] . 中国专利： CN113544619A . 2021-10-22
2. 具有先进返流诊断的质量流量控制器 [P] . 中国专利： CN113544609A . 2021-10-22
3. MASS FLOW CONTROLLER WITH ADVANCED ZERO TRENDING DIAGNOSTICS [P] . EP3871059A1 . 2021-09-01

机译：具有先进零趋势诊断的质量流量控制器
4. MASS FLOW CONTROLLER WITH ADVANCED ZERO TRENDING DIAGNOSTICS [P] . 美国专利： US2020133313A1 . 2020-04-30

机译：具有高级零趋势诊断功能的质量流量控制器
5. MASS FLOW CONTROLLER WITH ADVANCED ZERO TRENDING DIAGNOSTICS [P] . 世界知识产权组织专利： WO2020087008A1 . 2020-04-30

机译：具有高级零趋势诊断功能的质量流量控制器