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基于相位扰动层的高线性相位薄膜体声波滤波器

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本发明公开基于相位扰动层的高线性相位薄膜体声波滤波器，属于基本电气元件的技术领域。薄膜体声波滤波器由串联谐振器和并联谐振器级联而成，其基本结构均包括表面带有凹槽的衬底，位于衬底上的底电极层、位于底电极上的压电层、位于压电层的顶电极层，部分或全部串联谐振器还包括位于顶电极层上方或下方的相位扰动层。在不增加外围元器件，也不改变滤波器原有各层结构位置、形状、布局的情况下，仅仅通过增加相位扰动层在滤波器右半通带对相位响应曲线引入扰动，在滤波器滚降不变、矩形系数不变的情况下大幅提升滤波器的线性相位度，且具有不增加滤波器设计难度以及不影响薄膜体声波滤波器小型化的优势。

著录项

公开/公告号CN113541635A

专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-22

原文格式PDF
申请/专利权人中国电子科技集团公司第五十五研究所;
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申请/专利号CN202110738057.1
发明设计人赵洪元;王亚宁;
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申请日2021-06-30
分类号H03H9/02(20060101);
代理机构32200 南京经纬专利商标代理有限公司;
代理人熊玉玮;吴树山
地址 210016 江苏省南京市秦淮区中山东路524号
入库时间 2023-06-19 12:56:12

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外文文献

1. 基于相位扰动层的高线性相位薄膜体声波滤波器 [P] . 中国专利： CN113541635A . 2021-10-22
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3. Thin film bulk acoustic wave resonator component, e.g. a high frequency band pass filter in mobile communications equipment, has additional compensation layers to ensure a phase difference of 180 degrees at an output gate [P] . 德国专利： DE10256937A1 . 2004-06-17

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4. Time-base inversion type linear phase filter of the infinite impulse response type having linear phase characteristics [P] . 美国专利： US5381107A . 1995-01-10

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