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利用CO2脉冲激光层析烧蚀表征熔石英玻璃亚表面缺陷分布方法

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一种利用CO2脉冲激光层析烧蚀表征熔石英玻璃元件亚表面缺陷分布的方法，首先确定脉冲CO2激光烧蚀平台的层析分辨率，之后建立脉宽与烧蚀深度间的关系，然后建立不同层析分辨率下烧蚀层数与烧蚀深度的关系，最后选取所需的层析精度并结合在线CCD成像对亚表面缺陷进行成像表征，获得亚表面缺陷深度及亚表面缺陷随深度的演变规律。本发明具有简单、便捷的特点，可对亚表面缺陷深度、形貌和分布进行直接精确表征，层析分辨率可达<5nm，尤其是可实现数百微米级深度亚表面缺陷的表征，有效解决了因缺乏数百微米级亚表面缺陷深度表征方法而阻碍提升熔石英元件损伤阈值的难题。

著录项

公开/公告号CN113634883A

专利类型发明专利
公开/公告日2021-11-12

原文格式PDF
申请/专利权人中国科学院上海光学精密机械研究所;
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申请/专利号CN202110813282.7
发明设计人魏朝阳;彭小聪;程鑫;邵建达;蒋志刚;曹珍;
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申请日2021-07-19
分类号B23K26/12(20140101);B23K26/362(20140101);B23K26/082(20140101);B23K26/064(20140101);B23K26/0622(20140101);G01N21/958(20060101);
代理机构31317 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人张宁展
地址 201800 上海市嘉定区清河路390号
入库时间 2023-06-19 13:15:27

法律信息

法律状态公告日

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法律状态
2023-04-11

授权

发明专利权授予

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