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流量比例控制系统、成膜系统、异常诊断方法和程序介质

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摘要

本发明提供流量比例控制系统、成膜系统、异常诊断方法和异常诊断程序介质，在将彼此并列设置的多条分流流道的流量控制为规定的分流比的流量比例控制系统中，为了能诊断是否发生了影响其分流比的系统异常，包括：分流比计算部(43)，在彼此不同的分流流道(1)的流体控制阀(3)关闭的状态下，计算使流体流过这些分流流道(1)而得到的流量传感器(2)的输出值的比例作为实际分流比；基准分流比存储部(44)，存储成为实际分流比的基准的基准分流比；以及异常诊断部(45)，通过将实际分流比和基准分流比进行比较来诊断系统异常。

著录项

公开/公告号CN113655815A

专利类型发明专利
公开/公告日2021-11-16

原文格式PDF
申请/专利权人株式会社堀场STEC;
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申请/专利号CN202110510270.7
发明设计人金丸雄介;瀧尻兴太郎;赤土和也;
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申请日2021-05-11
分类号G05D7/06(20060101);
代理机构11290 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司;
代理人李成必;李雪春
地址日本京都府
入库时间 2023-06-19 13:16:59

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2023-03-17

实质审查的生效 IPC(主分类):G05D 7/06 专利申请号:2021105102707 申请日:20210511

实质审查的生效

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