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将绝对Z高度值用于工具之间的协同作用

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摘要

本公开揭示一种半导体复查工具，其接收半导体晶片的绝对Z高度值，例如具有斜角边缘的半导体晶片的绝对Z高度值。所述绝对Z高度值可由半导体检验工具确定。所述半导体复查工具在基于所述绝对Z高度值的Z高度内复查所述半导体晶片。可将焦点调整为在所述Z高度内。

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2022-03-29

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 专利申请号:2020800268184 申请日:20200406

实质审查的生效

1. 将绝对Z高度值用于工具之间的协同作用 [P] . 中国专利： CN113678235A . 2021-11-19
2. 用于拉制具有碳含量在包括端值的0.05％和不包括端值的0.4％之间的钢丝线的方法 [P] . 中国专利： CN105765088A . 2016-07-13
3. USING ABSOLUTE Z-HEIGHT VALUES FOR SYNERGY BETWEEN TOOLS [P] . 美国专利： US2020321221A1 . 2020-10-08

机译：将绝对Z高度值用于工具之间的协同作用
4. USING ABSOLUTE Z-HEIGHT VALUES FOR SYNERGY BETWEEN TOOLS [P] . 世界知识产权组织专利： WO2020210141A1 . 2020-10-15

机译：将绝对Z高度值用于工具之间的协同作用
5. USE OF ABSOLUTE Z HEIGHT VALUES FOR SYNERGY BETWEEN TOOLS [P] . DE112020001773T5 . 2021-12-30

机译：使用绝对Z高度值进行工具之间的协同作用