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钛合金表面制备Ti/TiN复合涂层的方法及复合涂层

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本发明公开了一种钛合金表面制备Ti/TiN复合涂层的方法及复合涂层，包括钛合金预处理、镀膜机腔室进行两级抽真空、分别对预处理后的钛合金辉光清洗和弧光清洗；采用多弧离子镀Ti/TiN复合涂层：依次沉积TiN涂层1和TiN涂层2；依此重复沉积TiN涂层1和TiN涂层2六个循环，每次循环中间沉积一次复合过渡层；完成钛合金表面Ti/TiN复合涂层的制备。本发明的Ti/TiN复合涂层，解决了TiN涂层与基体间结合力差的问题，提高了界面及涂层整体承载能力，沉积温度低，可有效避免零件产品的尺寸变形，可应用与高端装备零部件重载、冲击载荷等复杂工况。

著录项

公开/公告号CN113667943A

专利类型发明专利
公开/公告日2021-11-19

原文格式PDF
申请/专利权人宝鸡文理学院;
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申请/专利号CN202110984586.X
发明设计人陈雄刚;周建宏;张子萱;马语唯;邓靖仪;朱柯松;
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申请日2021-08-25
分类号C23C14/32(20060101);C23C14/02(20060101);C23C14/06(20060101);C23C14/16(20060101);
代理机构61200 西安通大专利代理有限责任公司;
代理人姚咏华
地址 721016 陕西省宝鸡市渭滨区石鼓镇宝光路44号
入库时间 2023-06-19 13:20:03

法律信息

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法律状态
2023-09-19

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发明专利权授予

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