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包括具有与光检测区域邻近的气隙的反射器的光检测器

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本发明涉及一种包括具有与光检测区域邻近的气隙的反射器的光检测器。该光检测器包括在半导体衬底中的光检测区域和在半导体衬底中的至少部分地沿着光检测区域的侧壁延伸的反射器。反射器包括被限定在半导体衬底中的气隙。反射器允许使用较薄的锗来用于光检测区域。气隙可具有各种内部特征以朝向光检测区域引导电磁辐射。

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公开/公告号CN113707747A

专利类型发明专利
公开/公告日2021-11-26

原文格式PDF
申请/专利权人格芯(美国)集成电路科技有限公司;
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申请/专利号CN202110495953.X
发明设计人 S·P·埃杜苏米利;M·D·莱维;V·贾因;J·J·埃利斯-莫纳甘;
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申请日2021-05-07
分类号H01L31/101(20060101);H01L31/0232(20140101);
代理机构11247 北京市中咨律师事务所;
代理人林莹莹;于静
地址美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 13:24:42

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