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氧气传感器和测量待测氧气浓度的方法

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本公开的实施例提供了一种氧气传感器和测量待测氧气浓度的方法。该氧气传感器包括衬底、第一电极、介质层和导电探针，第一电极设置在衬底上；介质层设置在第一电极远离衬底的一侧；第一电极和导电探针被配置为向介质层施加驱动电压，以驱动介质层产生氧空位导电细丝。该氧气传感器具有结构简单、易于制备、整体尺寸小、可以反复使用、寿命长，且检测结果准确等优点。

著录项

公开/公告号CN113884553A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-04

原文格式PDF
申请/专利权人清华大学;
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申请/专利号CN202111134073.6
发明设计人吴华强;魏甜甜;仲亚楠;高滨;唐建石;钱鹤;
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申请日2021-09-27
分类号G01N27/30(20060101);G01N27/416(20060101);
代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;
代理人刘晓冰;周雪
地址 100084 北京市海淀区清华大学
入库时间 2023-06-19 13:32:21

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