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惯性传感器以及惯性测量装置

摘要

本发明涉及惯性传感器和惯性测量装置。惯性传感器中,能够绕沿着第一方向的第一旋转轴摆动的第一可动体具有开口部,在开口部具有:第二可动体,能够绕沿着第二方向的第二旋转轴摆动;第二支承梁,作为第二旋转轴来支承第二可动体(38);第三可动体,能够绕沿着上述第二方向的第三旋转轴摆动;以及第三支承梁,作为上述第三旋转轴来支承上述第三可动体,具有突起,上述突起设置于与第二可动体以及第三可动体对置的面或者第二可动体(38)以及第三可动体,并朝向第二可动体以及第三可动体或者面突出。

著录项

  • 公开/公告号CN113899354A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-01-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 精工爱普生株式会社;

    申请/专利号CN202110764282.2

  • 申请日2021-07-06

  • 分类号G01C19/5649(20120101);G01C19/5656(20120101);G01C19/5663(20120101);

  • 代理机构11240 北京康信知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人车美灵

  • 地址 日本东京

  • 入库时间 2023-06-19 13:35:32

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